电镜中心——场发射聚焦离子束电子显微镜培训

发布时间:2024-09-24浏览量:42

为了进一步响应国家及学校对于大型科学仪器开放共享的若干举措,更好地提高大型精密仪器的使用效益,更全面满足校内广大师生的需求,电镜中心在前期培训的经验基础上,针对扫描电镜启动新一期培训。详情如下:

聚焦离子束(Focused Ion beam, FIB)的系统是利用电透镜将离子束聚焦成非常小尺寸的显微切割仪器,液相金属离子源,金属材质为镓(Gallium, Ga)可以进行材料沉积和化学增强刻蚀,通过注入特殊的化学气体,离子束可以沉积一些材料形成亚微米的结构,气体化学系统结合离子束可以形成化学刻蚀来进行选择性切割。高能聚焦离子束轰击样品时,其动能会传递给样品中的原子分子,产生溅射效应,从而达到不断蚀刻,即切割样品的效果。其切割定位精度能达到纳米级别,具有超高的切割精度。

可满足多种制样需求,例如:透射电镜样品制备、离子注入、离子束沉积薄膜、离子束蚀刻等。FIB-SEM双束系统中,聚焦离子束和电子束优势互补。离子束成型衬度大,但存在损伤样品和分辨率低的缺点,电子束激发的二次电子成像分辨率高、对样品损伤小,但衬度较低,两者组合可获得更清晰准确的样品表面信息目前5nm的加工精度、无污染和不损伤样品在样品加工方面存在这巨大优势,是其他样品制备设备无法达到的水平。

   一、培训设备

FEI Helios G4 UX场发射聚焦离子束电子显微镜(FIB)

   二、培训时间

另行通知

   三、培训内容

FIB基础理论、使用方法、使用规则等

   四培训形式

集中培训、上机操作、单独考核

   五培训收费

培训免费,但每个学员培训后两个月内至少要完成20个小时的上机练习并通过考核后方可获得独立上机资格,为鼓励广大师生参加培训,练习时间按照优惠价格收取基本机时费。

   六考核

电镜中心负责老师会组织专家对每个学生进行考核,考核分为理论汇报和实际上机操作两个部分,考核合格的学员可以获得独立操作资格,考核不合格学员需继续练习,同下一期学员一同考核。

   七报名方式

每个参加培训学员征求导师意见后报名,自行打印安全责任书(见附件)一式三份,个人导师分别签名后,提交至电镜中心204办公室,报名截止日期2024101。为了保证培训质量且兼顾需求,每个课题组限报名2人,15人满额。培训时间另行通知

培训报名:发送邮件至51254700102@stu.ecnu.edu.cn,邮件内备注姓名、院系、联系方式,后续电镜中心根据邮件信息与报名人员联络。

华东师范大学电镜中心开放仪器安全责任书.pdf


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