2024年11月23-24日，电子信息类本科生微纳专业实习在华东师范大学微纳加工中心圆满落下帷幕。本次专业实习主要面向物理与电子科学系21级电信、光电的62名本科生。
彭晖教授和钟妮教授首先介绍了专业实习背景介绍、实验的具体要求、成品展示以及各类注意事项。在微纳加工中心各位助管同学们的带领下，同学们以分组的形式参与每一个实训项目，专业实习涵盖三个重要的微纳加工实验。
1.微纳图形化：光刻是芯片制造中的关键核心工艺。同学们利用先进的无掩膜激光直写光刻系统，在硅衬底上可自由设计出复杂的芯片图形。
2.电极的制备：采用超真空电阻式镀膜仪，同学们在具有微纳复杂图案的硅片上进行高导电金属电极的蒸镀。
3.微纳图形的测试及表征：利用超高精度的多功能扫描探针显微镜等先进的半导体分析设备对微纳图案进行了微纳表征。
通过体验理论学习、实际操作和最终测试与表征的完整流程，同学们不仅掌握了先进的微纳加工技术，每一位同学还成功制备出具有深厚校园文化底蕴的华东师范大学校徽。本次实习致力于培养同学们严谨的科研态度和团队合作精神，引领我校电子类本科生深入理解和体验集成电路制造技术的原理与工艺流程，全方位提升了同学们的专业素养与实践技能，为我国芯片制造业发展提供高素质工科人才。
微纳加工中心信息详见https://mpi.ecnu.edu.cn/18954/list.htm