微纳加工中心主要依托于物理与电子科学学院，集中微/纳米加工、制造和表征测试手段，为物理、电子、化学、生命等学科发展提供微纳器件制备及表征方面的科研服务支撑。中心定位于高校及研究机构对微纳电子器件制备和表征的科研级需求，瞄准国内最先进研究技术型器件微加工及表征技术，目标是建设满足薄膜生长、光刻、曝光、刻蚀等多样性需求的恒温恒湿微纳加工净化室加工平台。

微纳加工中心位于闵行校区物理楼一楼洁净室，包含百级和千级两个洁净区域。目前中心已经具备低至50nm图形加工和多种类高质量薄膜制备能力，同时在微纳材料及器件的电学、光学和磁学方面拥有全面表征服务能力。中心具有强大的技术支持专家团队，可以根据用户需求提供表征及分析服务。

微纳加工中心将不断完善平台建设，为提升我校各研究单位在纳米科技、先进制造、能源、信息技术等研究领域的创新能力，为我校双一流建设及在国家重大需要和前沿交叉研究领域的科研发展做出重要贡献。

微纳加工中心为校内外师生及科研院所研究人员提供自主上机或送样加工测试服务，预约测试请联系中心高老师， argao@clpm.ecnu.edu.cn。中心每年将召开3-4次安全及设备上机培训（3-4月、9-10月份），具体信息请关注公共创新服务平台-培训宣讲通知https://mpi.ecnu.edu.cn/pxxj/list.htm。

中心主要仪器展示：