微纳加工中心主要依托于物理与电子科学学院，瞄准国内最先进研究型器件微加工及表征技术，建设恒温恒湿微纳加工净化室，形成满足薄膜生长、光刻、曝光、刻蚀等多样性需求的加工平台，支撑信息科学、物理与材料科学、化学与分子工程、生命科学等学科发展需求。

微纳加工中心位于闵行校区物理楼一楼洁净室，包含百级和千级两个洁净实验空间，以及更衣间和外围设备间两个辅助空间。目前中心已经具备微米级图形加工、简单薄膜制备和刻蚀的能力，同时也已经可以实现纳米级厚度的表征，通过增购电子束曝光及激光直写等图形发生系统，建成后中心将实现10nm至微米级微纳器件与图形的加工与测试能力。中心具有强大的技术支持专家团队，可以根据用户需求提供表征及分析服务。

微纳加工中心将不断完善平台建设，为提升我校各研究单位在纳米科技、先进制造、能源、信息技术等研究领域的创新能力，为我校双一流建设及在国家重大需要和前沿交叉研究领域的科研发展做出重要贡献。

微纳加工中心为校内外师生及科研院所研究人员提供自主上机或送样加工测试服务，预约测试请联系中心高老师，argao@clpm.ecnu.edu.cn。中心每年将召开3-4次安全及设备上机培训（3-4月、9-10月份），具体信息请关注公共创新服务平台-培训宣讲通知https://mpi.ecnu.edu.cn/pxxj/list.htm。

中心主要仪器展示（可点击仪器图片预约）：