微纳加工中心依托于物理与电子科学学院，位于闵行校区物理楼裙楼一层，部分设备安置于闵行校区信息楼。微纳加工中心目前已拥有多台大型科学仪器设备与恒温恒湿微纳加工无尘实验室，满足信息科学、光学、物理与材料科学、化学与分子工程、生命科学等领域的发展需求。
为进一步提高微纳加工中心仪器设备的使用效率，发挥中心对我校科学研究和人才培养的重要支撑作用，更好地服务广大校内外师生及合作单位科研人员，微纳加工中心于2024年9-10月开展了实验室安全培训及仪器设备的系列培训活动。共培训了来自物理与电子科学学院、精密光谱科学与技术国家重点实验室、化学与分子工程学院等教学科研单位的八十人次，本次培训设备主要有：紫外光刻机、电子束曝光机、真空电阻式镀膜仪、多功能薄膜沉积系统、多靶磁控溅射系统、二次谐波显微系统、多功能原子力显微镜、等离子清洗机、探针式轮廓仪、引线键合机、导体分析仪与低温探针台、显微拉曼光谱仪。
部分仪器培训的照片
在培训过程中，培训员首先对仪器工作原理、设备操作规范讲解及操作演示进行详细讲解，通过对实际样品测试与处理进行实操演示，重点指出容易出现安全隐患或影响实验结果的环节。通过此次培训，参与培训的师生对加工中心的实验要求与仪器操作流程更为清晰，经过仪器负责人陪同上机并达到要求练习时长后，即可独立进行实验。全新投入使用的仪器为不同学科领域创造了更加优质高效的实验平台。后续中心将定期组织仪器培训，并高度共享服务于校内外研究人员。
微纳加工中心设备信息详见https://mpi.ecnu.edu.cn/18954/list.htm
供稿人：钟妮